近日，睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵(lì)科學(xué)儀器”）宣布完成近5億元戰(zhàn)略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠(yuǎn)聯(lián)合領(lǐng)投，河南資產(chǎn)、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進(jìn)一步提升先進(jìn)半導(dǎo)體制程用的光學(xué)量檢測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)的集成電路芯片制造工藝用的光學(xué)量檢測設(shè)備，是國內(nèi)第一批半導(dǎo)體前道工藝國產(chǎn)設(shè)備公司，也是半導(dǎo)體行業(yè)國內(nèi)第一家量檢測領(lǐng)域的國產(chǎn)設(shè)備公司。迄今為止，睿勵(lì)科學(xué)儀器仍是進(jìn)入三星半導(dǎo)體產(chǎn)線的唯一國產(chǎn)設(shè)備廠商，也是目前唯一為半導(dǎo)體芯片制造良率控制、提供批量有圖形光學(xué)缺陷檢測設(shè)備的國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)。

截至目前，公司已取得了多項(xiàng)榮譽(yù)。2023年，公司作為續(xù)評多年的國家級高新技術(shù)企業(yè)，又連續(xù)獲評為國家級專精特新“小巨人”企業(yè)、上海市小巨人培育企業(yè)；并在2024年被認(rèn)定為上海企業(yè)技術(shù)中心。

一、國內(nèi)首家量檢測設(shè)備開發(fā)企業(yè)浦東科創(chuàng)集團(tuán)、中微半導(dǎo)體是其大股東

2005年，在上海市政府的支持下，曾任全球第一大量檢測設(shè)備企業(yè)研發(fā)科學(xué)家、研發(fā)經(jīng)理的呂彤欣博士，回國創(chuàng)辦了國內(nèi)第一家專注于集成電路生產(chǎn)前道工藝量檢測設(shè)備開發(fā)的企業(yè)——睿勵(lì)科學(xué)儀器。公司核心團(tuán)隊(duì)來自行業(yè)國際巨頭，專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)成員大都來自國際前兩名的量檢測設(shè)備企業(yè)以及國內(nèi)著名光學(xué)技術(shù)類公司，擁有多項(xiàng)全自主研發(fā)的專利技術(shù)。

量檢測設(shè)備是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻后第四大市場的半導(dǎo)體設(shè)備，規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場份額的15%左右。中國半導(dǎo)體量檢測設(shè)備市場則被國際廠商高度壟斷，是半導(dǎo)體設(shè)備中除光刻機(jī)外國產(chǎn)化率最低的領(lǐng)域。

作為國內(nèi)少數(shù)成規(guī)模的前道量檢測設(shè)備企業(yè)之一，睿勵(lì)科學(xué)儀器分別于2009年和2011年承接兩項(xiàng)國家科技重大專項(xiàng)，又相繼承擔(dān)了上海市首批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和上海市第十三批戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重大項(xiàng)目。在完成2009年專項(xiàng)的同時(shí)，2013年，睿勵(lì)科學(xué)儀器成功實(shí)現(xiàn)國內(nèi)首臺300mm橢偏膜厚設(shè)備交付。

創(chuàng)業(yè)之路九死一生，由于投入大、研發(fā)時(shí)間久，回報(bào)周期長，睿勵(lì)科學(xué)儀器在成長階段曾陷入現(xiàn)金流短缺的困境，導(dǎo)致生產(chǎn)經(jīng)營一度陷入停滯。2019年前后，浦東科創(chuàng)集團(tuán)會同張江集團(tuán)、國盛集團(tuán)等多家投資機(jī)構(gòu)，挺膺擔(dān)當(dāng)、主動(dòng)作為，發(fā)揮國資創(chuàng)投的功能性作用，伸出援手向其投資，助力睿勵(lì)科學(xué)儀器渡過難關(guān)。在配套資金的同時(shí)，支持團(tuán)隊(duì)迅速恢復(fù)生產(chǎn)和研發(fā)，妥善處理房租拖欠，解決歷史包袱后輕裝上陣，快速投入到集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的科技洪流中去。從2018年不到60人、年?duì)I收不足500萬元的瀕臨倒閉公司，發(fā)展壯大到如今超過250人、收入上億的平臺型高端裝備企業(yè)。

其中，浦東科創(chuàng)先后對其投資兩次。浦東科創(chuàng)投資條線相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，在睿勵(lì)科學(xué)儀器經(jīng)營最為困難、眼看資金鏈斷裂、團(tuán)隊(duì)逐漸縮小、多年的研發(fā)投入即將付諸東流之時(shí)，選擇出手投資睿勵(lì)科學(xué)儀器出于四個(gè)方面的考慮：“一是全球高科技產(chǎn)業(yè)競速，睿勵(lì)科學(xué)儀器生產(chǎn)的半導(dǎo)體上游核心設(shè)備是兵家必爭之地；二是睿勵(lì)科學(xué)儀器是國內(nèi)布局前道量檢測領(lǐng)域最早的企業(yè)，也是當(dāng)時(shí)唯一一家實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)自研設(shè)備出貨的企業(yè)，一度是上海本土該領(lǐng)域的獨(dú)苗；三是睿勵(lì)的團(tuán)隊(duì)十年如一日在這個(gè)領(lǐng)域深耕，其創(chuàng)始人在公司資金緊張之時(shí)，自掏腰包支付團(tuán)隊(duì)薪酬，企業(yè)精神令人敬佩、感動(dòng)；四是中微半導(dǎo)體董事長尹志堯博士為睿勵(lì)科學(xué)儀器的存續(xù)奔走呼號，作為同一批歸國創(chuàng)立集成電路前道設(shè)備企業(yè)的‘革命戰(zhàn)友’，尹總的支持促使我們下定決心。”

隨后，中微半導(dǎo)體于2020年和2021年分兩次向睿勵(lì)科學(xué)儀器出資合計(jì)超過2億元，成為最大股東，持股比例超36%，并由中微半導(dǎo)體董事長尹志堯博士親自出任睿勵(lì)科學(xué)儀器董事長。從此以后，睿勵(lì)科學(xué)儀器與中微形成協(xié)同效應(yīng)，邁入企業(yè)發(fā)展快車道。

二、自研多項(xiàng)國產(chǎn)首臺設(shè)備填補(bǔ)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域空白

自2019年起，睿勵(lì)科學(xué)儀器迎來了新一輪快速發(fā)展，前道工藝光學(xué)量檢測設(shè)備領(lǐng)域產(chǎn)品線布局處于國產(chǎn)廠商領(lǐng)先地位，尤其是在膜厚及OCD、缺陷檢測系列設(shè)備領(lǐng)域。

 

光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測TFX4000OCD

在膜厚及OCD設(shè)備上，陸續(xù)推出了TFX3200系列、TFX4000系列、4000-OCD系列、TFX-R系列等設(shè)備，可滿足200mm和300mm前后道全產(chǎn)線幾乎所有應(yīng)用，性能匹配國外同行同等水平，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)全替代能力，設(shè)備在各節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)線被廣泛使用，獲得了良好的客戶口碑。

 

光學(xué)缺陷檢測WSD300

在缺陷檢測系列設(shè)備上，睿勵(lì)科學(xué)儀器相繼推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD。其中，WSD是首先應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝過程檢，且唯一實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)能力的國產(chǎn)缺陷檢測設(shè)備，可替代行業(yè)國際巨頭在硅基CMP、ADI、AEI inline 以及SiC inline檢測應(yīng)用，取得多臺重復(fù)訂單并驗(yàn)收；BriteSD300是首臺應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝的納米級明場缺陷檢測設(shè)備。

就技術(shù)而言，缺陷檢測設(shè)備具有公司自研的獨(dú)特算法模式及獨(dú)立設(shè)計(jì)的光學(xué)架構(gòu)，率先打破國際廠商壟斷，是目前唯一在前道工藝用做過程檢的國產(chǎn)缺陷檢測設(shè)備，通過了28nm API驗(yàn)證，被多條300mm集成電路芯片產(chǎn)線和SiC產(chǎn)線采用；同時(shí)，在國內(nèi)首家推出OCD設(shè)備，并完成第二代開發(fā)，性能進(jìn)一步提升，為關(guān)鍵尺寸量測方面國產(chǎn)替代提供值得信賴的選擇。

值得一提的是，公司產(chǎn)品可靠性驗(yàn)證超過10年，在各類客戶不同的生產(chǎn)工藝產(chǎn)線上都通過了大規(guī)模量產(chǎn)的驗(yàn)證，無論是設(shè)備穩(wěn)定性還是快速響應(yīng)并解決問題的能力都得到了充分驗(yàn)證，幫助生產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率、提升良率，得到了客戶的認(rèn)可和好評。此外，已完成半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶的廣泛布局，并正在開展LED、顯示面板及化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶驗(yàn)證，打開廣闊市場空間。

截至目前，睿勵(lì)科學(xué)儀器申請專利超170項(xiàng)，授權(quán)101項(xiàng)（國外10件），其中發(fā)明申請專利78項(xiàng)，實(shí)用新型專利24項(xiàng)，外觀設(shè)計(jì)專利3項(xiàng)；產(chǎn)品已被國內(nèi)諸多知名Fab企業(yè)認(rèn)證，并已進(jìn)行泛半導(dǎo)體行業(yè)布局，服務(wù)客戶包括三星、積塔半導(dǎo)體、中芯、華力微電子、中晶光電等巨頭。預(yù)計(jì)未來五年實(shí)現(xiàn)業(yè)績放量增長。

三、近5億元，五家投資機(jī)構(gòu)出手

今年，睿勵(lì)科學(xué)儀器還將推出3D AOI檢測設(shè)備、TSV量測設(shè)備，在研和驗(yàn)證中設(shè)備完善產(chǎn)品線布局，保持國內(nèi)領(lǐng)先。

本輪近5億元融資，將為睿勵(lì)科學(xué)儀器的未來發(fā)展提供強(qiáng)有力的資金支持。睿勵(lì)科學(xué)儀器總經(jīng)理?xiàng)罘灞硎荆?/span>“非常感謝投資方的認(rèn)可與支持。我們將繼續(xù)深耕集成電路芯片生產(chǎn)工藝檢測設(shè)備市場，進(jìn)一步豐富光學(xué)量測和光學(xué)缺陷檢測產(chǎn)品系列，為實(shí)現(xiàn)集成電路前道工藝檢測設(shè)備國產(chǎn)化全面替代的目標(biāo)而努力。”他指出，未來，睿勵(lì)科學(xué)儀器將持續(xù)聚焦在光學(xué)量檢測領(lǐng)域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發(fā)包括OVL的其他光學(xué)量檢測設(shè)備。

作為睿勵(lì)科學(xué)儀器的第一大股東，中微半導(dǎo)體相關(guān)負(fù)責(zé)人表示：“隨著集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，工藝檢測設(shè)備的市場需求日益增長，國產(chǎn)化替代進(jìn)口設(shè)備是大勢所趨，睿勵(lì)科學(xué)儀器在這方面具有巨大的發(fā)展空間和市場機(jī)會。隨著新一輪融資的完成，我們期待睿勵(lì)科學(xué)儀器能夠進(jìn)一步加速產(chǎn)品研發(fā)和市場拓展，鞏固其在光學(xué)量檢測領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。中微半導(dǎo)體將繼續(xù)提供全方位的支持，以促進(jìn)睿勵(lì)科學(xué)儀器的創(chuàng)新發(fā)展和持續(xù)成長。我們相信，通過雙方的緊密合作，能為推動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控和高質(zhì)量發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。”

本輪融資領(lǐng)投機(jī)構(gòu)金石投資相關(guān)負(fù)責(zé)人表示：“量檢測設(shè)備作為晶圓制造工藝的‘尺’，是工藝過程質(zhì)量控制和保證產(chǎn)線良率‘看護(hù)人’，其國產(chǎn)化的自主突破對于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈具有重大的戰(zhàn)略意義。睿勵(lì)科學(xué)儀器團(tuán)隊(duì)深耕該領(lǐng)域近20年，擁有較強(qiáng)的技術(shù)優(yōu)勢、較高的業(yè)務(wù)專注度以及產(chǎn)品創(chuàng)新能力，是業(yè)內(nèi)具有綜合競爭實(shí)力的企業(yè)。我們期待與睿勵(lì)科學(xué)儀器一同成長，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主可控貢獻(xiàn)力量。”

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