為貫徹落實(shí)《中共中央 國(guó)務(wù)院關(guān)于深入打好污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)的意見(jiàn)》和《“十四五”節(jié)能減排綜合工作方案》(國(guó)發(fā)〔2021〕33號(hào))，聚焦細(xì)顆粒(PM2.5)和臭氧(O3)協(xié)同控制，加快推進(jìn)氮氧化物(NOx)和揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)協(xié)同減排，持續(xù)改善全省環(huán)境空氣質(zhì)量，不斷滿(mǎn)足人民群眾的優(yōu)美生態(tài)環(huán)境需要，廣東省生態(tài)環(huán)境廳組織開(kāi)展了涉VOCs排放和工業(yè)爐窯污染治理專(zhuān)題專(zhuān)項(xiàng)研究，編制了《廣東省電子元件制造業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合整治技術(shù)指南》，現(xiàn)發(fā)布實(shí)施。
為貫徹《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》、《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》、《廣東省大 氣污染防治條例》等法律、法規(guī)，落實(shí)《國(guó)務(wù)院辦公廳關(guān)于印發(fā)控制污染物排放許可制實(shí)施方案 的通知》(國(guó)辦發(fā)〔2016〕81 號(hào))要求，防治環(huán)境污染，改善環(huán)境質(zhì)量，指導(dǎo)和規(guī)范揮發(fā)性有 機(jī)物綜合整治工作，制定本指南。
本指南參考DB 4427 大氣污染物排放限值；GB 37822 揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)；GB 33372 膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量；GB 38508 清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值；GB 38507 油墨中可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量的限值；HJ 1031 排污許可證申請(qǐng)與核發(fā)技術(shù)規(guī)范 電子工業(yè)；HJ 1093 蓄熱燃燒法工業(yè)有機(jī)廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范；HJ 2026 吸附法工業(yè)有機(jī)廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范；HJ 2027 催化燃燒法工業(yè)有機(jī)廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范；GB/T 38597 低揮發(fā)性有機(jī)化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求；GB/T 16157 固定污染源排氣中顆粒物測(cè)定與氣態(tài)污染物采樣方法等文件編制而成。
本指南規(guī)定了電子元件制造業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物綜合整治技術(shù)指南。
本指南適用于電子元器件制造企業(yè)(包括電子器件制造和電子元件及電子專(zhuān)用材料制造)揮 發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放控制相關(guān)技術(shù)要求，其中電子器件制造包括電子真空器件制造(3971)、 半導(dǎo)體分立器件制造(3972)、集成電路制造(3973)、顯示器件制造(3974)、半導(dǎo)體照明 器件制造(3975)、光電子器件制造(3976)以及其他電子器件制造(3979)；電子元件及電 子專(zhuān)用材料制造(3980)、電阻電容電感元件制造(3981)、電子電路制造(3982)、敏感元 件及傳感器制造(3983)、電聲器件及零件制造(3984)、電子專(zhuān)用材料制造(3985)以及其 他電子元件制造(3989)等。
污染預(yù)防技術(shù)：
(1)使用符合《膠粘劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》(GB33372-2020)、《清洗劑揮發(fā)性有 機(jī)化合物含量限值》(GB38508-2020)、《油墨中可揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)含量的限值》 (GB38507-2020)要求的膠粘劑、清洗劑、油墨。 (2)采用水性、高固、能量固化油墨代替溶劑型油墨；鼓勵(lì)使用無(wú)溶劑涂料、輻射固化涂 料；電子產(chǎn)品制造推廣使用粉末、水性、輻射固化等涂料。 (3)電子產(chǎn)品制造推廣使用靜電噴涂等技術(shù)。 (4)采用自動(dòng)化、智能化噴涂設(shè)備替代人工噴涂。
過(guò)程控制技術(shù)：
(1)清洗劑、清潔劑、油墨、膠粘劑、固化劑、溶劑、開(kāi)油水、洗網(wǎng)水等 VOCs 物料應(yīng)儲(chǔ)存于密閉的容器、包裝袋、儲(chǔ)罐、儲(chǔ)庫(kù)、料倉(cāng)中。
(2)盛裝 VOCs 物料的容器應(yīng)存放于室內(nèi)，或存放于設(shè)置有雨棚、遮陽(yáng)和防滲設(shè)施的專(zhuān)用 場(chǎng)地。盛裝 VOCs 物料的容器在非取用狀態(tài)時(shí)應(yīng)加蓋、封口，保持密閉。
(3)液體 VOCs 物料應(yīng)采用管道密閉輸送。采用非管道輸送方式轉(zhuǎn)移液態(tài) VOCs 物料時(shí)， 應(yīng)采用密閉容器或罐車(chē)。
(4)包封、灌封、線(xiàn)路印刷、防焊印刷、文字印刷、絲印、UV 固化、烤版、洗網(wǎng)、晾干、 調(diào)油、清洗等使用 VOCs 質(zhì)量占比大于等于 10%物料的過(guò)程應(yīng)采用密閉設(shè)備或在密閉空間內(nèi)操作， 廢氣應(yīng)排至 VOCs 廢氣收集處理系統(tǒng)；無(wú)法密閉的，應(yīng)采取局部氣體收集措施，廢氣應(yīng)排至 VOCs 廢氣收集處理系統(tǒng)。
(5)重點(diǎn)地區(qū)的實(shí)驗(yàn)室，若涉及使用含揮發(fā)性有機(jī)物的化學(xué)品進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，應(yīng)使用通風(fēng)櫥(柜) 或者進(jìn)行局部氣體收集，廢氣應(yīng)排至揮發(fā)性有機(jī)物廢氣收集處理系統(tǒng)。
(6)廢氣收集。 ①采用外部集氣罩的，距集氣罩開(kāi)口面最遠(yuǎn)處的 VOCs 無(wú)組織排放位置，控制風(fēng)速不低于 0.3m/s。 ②通風(fēng)生產(chǎn)設(shè)備、操作工位、車(chē)間廠(chǎng)房等應(yīng)在符合安全生產(chǎn)、職業(yè)衛(wèi)生相關(guān)規(guī)定的前提下， 根據(jù)行業(yè)作業(yè)規(guī)程與標(biāo)準(zhǔn)、工業(yè)建筑及潔凈廠(chǎng)房通風(fēng)設(shè)計(jì)規(guī)范等的要求，采用合理的通風(fēng)量。廢 氣收集系統(tǒng)的輸送管道應(yīng)密閉。 ③廢氣收集系統(tǒng)應(yīng)在負(fù)壓下運(yùn)行，若處于正壓狀態(tài)，應(yīng)對(duì)管道組件的密封點(diǎn)進(jìn)行泄漏檢測(cè)， 泄漏檢測(cè)值不應(yīng)超過(guò) 500μmol/mol，亦不應(yīng)有感官可察覺(jué)泄漏。 ④無(wú)塵等級(jí)要求車(chē)間需設(shè)置成正壓的，推薦采用內(nèi)層正壓、外層微負(fù)壓的雙層整體密閉收集 空間。⑤廢氣收集系統(tǒng)應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備同步運(yùn)行。廢氣收集系統(tǒng)發(fā)生故障或檢修時(shí)，對(duì)應(yīng)的生產(chǎn) 工藝設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行，待檢修完畢后同步投入使用；生產(chǎn)工藝設(shè)備不能停止運(yùn)行或不能及時(shí)停止 運(yùn)行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他代替措施。
(7)載有 VOCs 物料的設(shè)備及其管道在開(kāi)停工(車(chē))、檢維修和清洗時(shí)，應(yīng)在退料階段將 殘存物料退凈，并用密閉容器盛裝，退料過(guò)程廢氣應(yīng)排至 VOCs 廢氣收集處理系統(tǒng)；清洗及吹掃 過(guò)程排氣應(yīng)排至 VOCs 廢氣收集處理系統(tǒng)。
末端治理：
(1)有機(jī)廢氣分類(lèi)收集、分質(zhì)處理，水溶性組分占比較大的有機(jī)廢氣宜采用含水噴淋吸收 的組合技術(shù)處理；非水溶組分有機(jī)廢氣宜采用熱氧化或其他組合技術(shù)進(jìn)行處理。
(2)若采用活性炭吸附技術(shù)，采用顆?；钚蕴孔鳛槲絼r(shí)，其碘值不宜低于 800mg/g； 采用蜂窩活性炭作為吸附劑時(shí)，其碘值不宜低于 650mg/g；采用活性炭纖維作為吸附劑時(shí)，其 比表面積不低于 1100m2/g(BET 法)。其工作溫度和濕度應(yīng)符合：溫度 T<40℃、濕度 RH<60%； 活性炭表面不應(yīng)有積塵和積水；活性炭吸附箱是否足額裝填活性炭(1 噸活性炭通常只能吸附 0.1~0.2 噸 VOCs，根據(jù) VOCs 產(chǎn)生量推算需使用的活性炭，以活性炭購(gòu)買(mǎi)記錄(含發(fā)票、合同 等)、危廢合同、轉(zhuǎn)移聯(lián)單和危廢間暫存量佐證其活性炭更換量)；箱體內(nèi)氣流走向及碳床鋪設(shè) 應(yīng)符合《吸附法工業(yè)有機(jī)廢氣治理工程技術(shù)規(guī)范》(HJ2026- 2013)。在確保活性炭無(wú)積塵無(wú) 潮濕的情況下，可采用 VOCs 速測(cè)儀測(cè)處理前后濃度的方法快速判斷活性炭是否飽和(處理后濃 度高于處理前濃度，即活性炭已達(dá)到飽和狀態(tài))。
(3)設(shè)置高效的顆粒物(漆渣、粉塵)去除系統(tǒng)，治理設(shè)施內(nèi)無(wú)肉眼可見(jiàn)的顆粒物(漆渣、 粉塵)。
(4)排放水平。①車(chē)間或生產(chǎn)設(shè)施排氣筒廢氣排放濃度不高于相應(yīng)行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)濃度限值(無(wú)行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn) 的執(zhí)行 DB4427-2001 第Ⅱ時(shí)段限值)；若環(huán)評(píng)審批或排污許可證都是核發(fā)的《大氣污染物排放 限值》(DB4427-2001)第Ⅱ時(shí)段排放限值 100%，建議取兩者中最嚴(yán)值執(zhí)行；車(chē)間或生產(chǎn)設(shè)施 排氣中 NMHC 初始排放速率≥3kg/h 時(shí)，建設(shè) VOCs 處理設(shè)施且處理效率≥80%，采用的原輔材 料符合國(guó)家有關(guān)低 VOCs 含量產(chǎn)品規(guī)定的除外。 ②根據(jù)《廣東省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于實(shí)施廠(chǎng)區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放監(jiān)控要求的通告》(粵 環(huán)發(fā)〔2021〕4 號(hào))，企業(yè)廠(chǎng)區(qū)內(nèi)無(wú)組織排放監(jiān)控點(diǎn)濃度執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo) 準(zhǔn)》(GB37822-2019)特別排放限值。
