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中國(guó)首條12英寸MEMS量產(chǎn)線今天投產(chǎn)!5年370
億兩座晶圓廠12萬(wàn)片/月!

發(fā)布時(shí)間:2024-7-2     來(lái)源:傳感器專家網(wǎng)    編輯:衡盛楠    審核:張經(jīng)緯 王靜

Flag完成!從動(dòng)土開(kāi)工到投產(chǎn),18個(gè)月搞定!中國(guó)首條12英寸MEMS量產(chǎn)線!5年投資370億,兩座晶圓廠,12萬(wàn)片/月產(chǎn)能!

今天(628日),廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目(以下簡(jiǎn)稱增芯項(xiàng)目),在廣州增城開(kāi)發(fā)區(qū)舉行投產(chǎn)活動(dòng),這意味著,中國(guó)國(guó)內(nèi)第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線正式投產(chǎn)!

增芯項(xiàng)目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起,于20214月成立,定位為國(guó)內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸傳感器晶圓廠,針對(duì)智能化、微型化等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域中的核心器件(如力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等),打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測(cè)與應(yīng)用一體的先進(jìn)制造平臺(tái),產(chǎn)品包括三大類工藝產(chǎn)品MEMS、BCD及邏輯工藝,對(duì)廣州市及廣東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

據(jù)官網(wǎng)介紹,增芯科技按照一次規(guī)劃、分步實(shí)施原則,計(jì)劃用5年時(shí)間投資370億元,在廣州市增城區(qū)建設(shè)兩座智能化晶圓廠,總產(chǎn)能達(dá)到12萬(wàn)片/月。

其中,增芯項(xiàng)目第一座晶圓廠(FAB1)分兩期,第一期產(chǎn)能2萬(wàn)片/月,總投資70億元;第二期產(chǎn)能4萬(wàn)片/月,總投資100億元;第二座晶圓廠(FAB2)為第三期,產(chǎn)能6萬(wàn)片/月,總投資200億元。第一座晶圓廠預(yù)計(jì)2026年滿產(chǎn),第二座晶圓廠預(yù)計(jì)2027年滿產(chǎn)。

本次投產(chǎn)的為增芯項(xiàng)目第一座晶圓廠一期。相關(guān)報(bào)道顯示,一期項(xiàng)目建設(shè)伊始,增芯科技就立下flag:從土建施工到第一片產(chǎn)品下線,在18個(gè)月內(nèi)完成。此后,增芯項(xiàng)目迅速推進(jìn)。

20221214日,增芯項(xiàng)目一期第一階段項(xiàng)目正式開(kāi)工建設(shè),批復(fù)投資70億元人民幣,建設(shè)月加工2萬(wàn)片12英寸的MEMS晶圓制造量產(chǎn)線。

2023920日,增芯項(xiàng)目封頂活動(dòng)舉行,項(xiàng)目從動(dòng)工到封頂用時(shí)9個(gè)多月,隨著項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)封頂完成,這條12英寸智能傳感器MEMS生產(chǎn)線進(jìn)度再次刷新。

20231228日,項(xiàng)目封頂僅三個(gè)多月后,增芯項(xiàng)目首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式舉行,標(biāo)志著項(xiàng)目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運(yùn)營(yíng)前的生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。首臺(tái)設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司制造的Primo D-RIE®刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)。

2024311日,增芯項(xiàng)目迎來(lái)工廠最核心設(shè)備--光刻機(jī)搬入,標(biāo)志著增芯項(xiàng)目迎來(lái)項(xiàng)目建設(shè)的關(guān)鍵性節(jié)點(diǎn),順利進(jìn)入調(diào)試投產(chǎn)準(zhǔn)備階段。據(jù)增芯科技總經(jīng)理張亮介紹,增芯此次引進(jìn)的光刻機(jī)產(chǎn)能輸出速率可達(dá)到260/小時(shí),其資金投入占整個(gè)工廠建設(shè)投資的約25%。

而今天,2024628日,增芯項(xiàng)目投產(chǎn)活動(dòng)舉行,中國(guó)第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線進(jìn)入生產(chǎn)階段,此前相關(guān)報(bào)道顯示,增芯項(xiàng)目將在2024年實(shí)現(xiàn)“3月光刻機(jī)進(jìn)場(chǎng)、6月通線、9月產(chǎn)品下線、12月交付客戶的階段性目標(biāo)。

202212月破土動(dòng)工,到20246月份投產(chǎn),增芯科技一步步完成了當(dāng)初立下的Flag。

為了補(bǔ)足芯片短板,不再受制于人,近年來(lái),中國(guó)經(jīng)濟(jì)第一大省——廣東省,大力實(shí)施強(qiáng)芯工程,以智能傳感器、模擬芯片等產(chǎn)品為突破口帶動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,增芯項(xiàng)目的快速投產(chǎn)展現(xiàn)了大灣區(qū)速度,展現(xiàn)了廣東建設(shè)成為中國(guó)半導(dǎo)體第三極的決心。

MEMS晶圓產(chǎn)量窺視中國(guó)半導(dǎo)體困境,廣東設(shè)4000億元芯片小目標(biāo),以MEMS智能傳感器芯片等為突破口,廣東力爭(zhēng)中國(guó)半導(dǎo)體第三極!

在先進(jìn)芯片領(lǐng)域,如CPU、GPU等芯片,中國(guó)受制于國(guó)外先進(jìn)國(guó)家,眾所皆知,而在MEMS智能傳感器芯片上,也同樣如此。

MEMS芯片是智能傳感器的核心,智能傳感器在智能手機(jī)、自動(dòng)駕駛、機(jī)器人等眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,是智能設(shè)備的感知核心。

據(jù)國(guó)外咨詢機(jī)構(gòu)Yole Group的最新數(shù)據(jù)顯示,2023年,北美和歐洲共生產(chǎn)了約220萬(wàn)片MEMS晶圓,占據(jù)全球60%份額,日本生產(chǎn)了約75萬(wàn)片MEMS晶圓,占據(jù)19%份額,而中國(guó)大陸僅生產(chǎn)了約9萬(wàn)片MEMS晶圓。

顯然,相對(duì)于中國(guó)大陸龐大的MEMS需求量來(lái)說(shuō),本土MEMS晶圓生產(chǎn)數(shù)量仍較少,中國(guó)智能傳感器產(chǎn)業(yè)面臨著與CPU、GPU等先進(jìn)芯片一樣的困境。

作為制造業(yè)大省,廣東的電子信息產(chǎn)業(yè)規(guī)模連續(xù)33年位居全國(guó)首位,手機(jī)、電視、無(wú)人機(jī)等產(chǎn)品產(chǎn)量均居全國(guó)第一,但這些智能設(shè)備里面采用的關(guān)鍵核心芯片,許多仍受制于人,不僅比不上國(guó)際先進(jìn)水平,長(zhǎng)期以來(lái),廣東省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后,也遠(yuǎn)不如上海市、江蘇省等兄弟省市。

此外,廣東在消費(fèi)電子、通信、人工智能、汽車電子等領(lǐng)域擁有國(guó)內(nèi)最大的半導(dǎo)體及集成電路應(yīng)用市場(chǎng),集成電路進(jìn)口金額占全國(guó)的40%左右。在國(guó)際技術(shù)封鎖及國(guó)內(nèi)區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)加劇的背景下,人才短缺、對(duì)外依存度較高等問(wèn)題成了產(chǎn)業(yè)發(fā)展的短板,卡脖子斷鏈的隱憂頻現(xiàn)。

在國(guó)家支持下,2020年廣東發(fā)布《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃(2021-2025年)》政策,開(kāi)始大力打造廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),其中提到廣東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)存在諸多嚴(yán)峻的問(wèn)題:

一是創(chuàng)新能力不強(qiáng),創(chuàng)新要素投入不足,關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)能力薄弱。二是設(shè)計(jì)企業(yè)普遍規(guī)模偏小,高水平設(shè)計(jì)能力不足。三是制造環(huán)節(jié)短板明顯,實(shí)現(xiàn)規(guī)?;慨a(chǎn)的12英寸晶圓線僅1條。四是高校人才培養(yǎng)嚴(yán)重短缺,微電子專業(yè)在校生不足2000人,人才引進(jìn)難度越來(lái)越大,人才供求矛盾突出。五是對(duì)外依存度高,產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全可控性亟待提升。在當(dāng)前國(guó)際技術(shù)封鎖及國(guó)內(nèi)區(qū)域競(jìng)爭(zhēng)加劇的背景下,迫切需要加快補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈短板,提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定性安全性,為推動(dòng)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。

2021年,廣東印發(fā)的《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展十四五規(guī)劃》更是提出要打造中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展第三極,并描畫出強(qiáng)芯行動(dòng)的詳細(xì)廣東路徑”——做大做強(qiáng)設(shè)計(jì)業(yè),加快補(bǔ)齊制造業(yè)短板,重點(diǎn)發(fā)展模擬芯片、智能傳感器、功率器件和第三代半導(dǎo)體等,大力引進(jìn)和培育封測(cè)、設(shè)備、材料等領(lǐng)域龍頭企業(yè),增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控的發(fā)展能力。


來(lái)源:《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展十四五規(guī)劃》

20224月,廣東省工信廳印發(fā)《2022年廣東省數(shù)字經(jīng)濟(jì)工作要點(diǎn)》,豪擲千億,推出一系列政策,全面實(shí)施廣東強(qiáng)芯工程,加快灣區(qū)半導(dǎo)體、廣大融智、智能傳感器三大產(chǎn)業(yè)集團(tuán)建設(shè)。

一、成立廣東省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(總規(guī)模500億,首期200億):設(shè)立子基金、生態(tài)子基金和風(fēng)險(xiǎn)子基金;二、粵芯CanSemi12英寸模擬特色工藝線三期四期投資400億元;三、粵港澳大灣區(qū)科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資基金,總規(guī)模1000億,首期200億元;四、灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集團(tuán),首期160億元,目標(biāo)300億元;五、廣大融智產(chǎn)業(yè)集團(tuán),一期100億元;六、智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán),100億。

20241月,廣東省印發(fā)《廣東省培育半導(dǎo)體及集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群行動(dòng)計(jì)劃(2023-2025年)》,提出2025年,半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)年主營(yíng)業(yè)務(wù)收入突破4000億元,年均增長(zhǎng)超過(guò)22%其中,MEMS、傳感器是《行動(dòng)計(jì)劃》中的關(guān)鍵項(xiàng)目。

除了以傳感器聯(lián)動(dòng)廣東已有的龐大電子產(chǎn)業(yè)下游外,廣東省還將以傳感器聯(lián)動(dòng)人工智能等新興技術(shù),20246月,廣東省印發(fā)《廣東省關(guān)于人工智能賦能千行百業(yè)的若干措施》(下稱《若干措施》),提出夯實(shí)人工智能產(chǎn)業(yè)底座、構(gòu)筑智能終端產(chǎn)品新高地、打造智能融合應(yīng)用新引擎等重點(diǎn)方面,提出了45點(diǎn)細(xì)化措施,包括加大人工智能核心芯片器件供給:

1. 建立人工智能芯片生態(tài)體系。建設(shè)適配芯片的開(kāi)發(fā)生態(tài),面向家電家居、安防監(jiān)控、醫(yī)療設(shè)備等,加大高性能、低功耗的端側(cè)芯片開(kāi)發(fā)生產(chǎn)。鼓勵(lì)企業(yè)通過(guò)集成處理器、射頻通信、智能傳感器、存儲(chǔ)器等,推進(jìn)通信、顯示、音頻等模組研發(fā)。培育芯片創(chuàng)新發(fā)展生態(tài),探索存算一體、類腦計(jì)算、芯粒、指令集等芯片研發(fā)與應(yīng)用,推動(dòng)面向云端和終端的芯片應(yīng)用,推廣高性能云端智能服務(wù)器。到2027年,人工智能芯片生態(tài)體系初步建成。

2. 打造智能感知產(chǎn)業(yè)體系。建設(shè)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群和特色產(chǎn)業(yè)園,推動(dòng)圖像、聲音、觸控等傳感器開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,加快消費(fèi)類電子、家電家居等領(lǐng)域中生物特征識(shí)別、圖像感知等傳感器開(kāi)發(fā)和規(guī)模化生產(chǎn)。推動(dòng)加工制造、集成封裝、計(jì)量檢測(cè)等產(chǎn)業(yè)生態(tài)協(xié)同。到2027年,實(shí)現(xiàn)高端智能傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)模倍增。

此外,經(jīng)濟(jì)特區(qū)深圳,也出臺(tái)了《關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來(lái)產(chǎn)業(yè)的意見(jiàn)》,培育發(fā)展壯大“20+8”產(chǎn)業(yè)集群,即發(fā)展以先進(jìn)制造業(yè)為主體的20個(gè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群,前瞻布局8大未來(lái)產(chǎn)業(yè)。包括智能傳感器、智能傳感器、精密儀器、新能源、高端醫(yī)療器械等產(chǎn)業(yè)集群。

目前,廣東省以廣州、深圳、珠海為核心,帶動(dòng)佛山、東莞、中山、惠州、肇慶等地協(xié)同發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),而MEMS智能傳感器更是廣東省半導(dǎo)體戰(zhàn)略中關(guān)鍵的一環(huán),2023年廣東省半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)集群營(yíng)收超2700億元,已在高端模擬、化合物半導(dǎo)體、MEMS傳感器等特色工藝方面布局一批重大產(chǎn)線項(xiàng)目。

中國(guó)掀起MEMS中試線/產(chǎn)線建設(shè)熱潮!為什么MEMS產(chǎn)線如此重要?產(chǎn)能是否過(guò)剩?

增芯項(xiàng)目這條12英寸MEMS芯片量產(chǎn)線的投產(chǎn),是近幾年中國(guó)高度重視傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展,各地方紛紛建設(shè)MEMS中試線/量產(chǎn)線產(chǎn)業(yè)盛況的縮影。

全國(guó)各地多條MEMS產(chǎn)線的動(dòng)工建設(shè),也引發(fā)了業(yè)界對(duì)中國(guó)本土MEMS產(chǎn)能是否過(guò)剩的疑慮。

此前,我國(guó)傳感產(chǎn)業(yè)知名專家,九三中央科技委副主任、中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟常務(wù)副理事長(zhǎng)郭源生教授認(rèn)為,MEMS產(chǎn)線的競(jìng)爭(zhēng)是國(guó)產(chǎn)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必然階段,也是促進(jìn)行業(yè)升級(jí)轉(zhuǎn)型,優(yōu)勝劣汰的必然過(guò)程,但應(yīng)該避免一哄而上和出現(xiàn)泡沫化。相關(guān)信息參看《專家披露行業(yè)最新現(xiàn)狀!》。

從上文中,Yole最新產(chǎn)業(yè)報(bào)道的數(shù)據(jù)顯示,2023年中國(guó)大陸僅生產(chǎn)了約9萬(wàn)片MEMS晶圓,相比北美、歐洲、日本等地區(qū)110萬(wàn)、75萬(wàn)的產(chǎn)量,顯然還是太小,而中國(guó)的消費(fèi)電子、汽車、自動(dòng)駕駛、人工智能等產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,對(duì)傳感器有龐大的需求,在本土MEMS晶圓產(chǎn)量小、而自身需求大的矛盾下,為什么業(yè)界還有產(chǎn)能過(guò)剩疑慮?

關(guān)鍵在于,中國(guó)MEMS市場(chǎng)目前為國(guó)際品牌占據(jù)多數(shù)份額,許多MEMS國(guó)際巨頭本身已有MEMS工廠或穩(wěn)固的海外代工廠,中國(guó)MEMS企業(yè)能否消化本土MEMS晶圓產(chǎn)量仍有待觀察。

下一步將是中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)的重中之重!即能否把握本土MEMS產(chǎn)線優(yōu)勢(shì),進(jìn)行產(chǎn)業(yè)升級(jí),向中高端智能傳感器邁進(jìn)。這也是中國(guó)本土建設(shè)MEMS產(chǎn)線的重要意義。

為什么MEMS產(chǎn)線如此重要?

1、掙脫卡脖子困境,帶動(dòng)地區(qū)傳感產(chǎn)業(yè)升級(jí)

高科技產(chǎn)業(yè),技術(shù)為本。在一顆MEMS傳感器中,什么最重要?MEMS傳感器核心為MEMS芯片——用來(lái)感知信號(hào),以及ASIC芯片——用來(lái)處理信號(hào),其中MEMS芯片是技術(shù)含量最高的部件。

▲MEMS聲學(xué)傳感器構(gòu)造圖(來(lái)自歌爾微招股書)

當(dāng)前,中國(guó)絕大部分本土MEMS企業(yè),采購(gòu)海外傳感器企業(yè)設(shè)計(jì)好的芯片以及與傳感器配套的其他芯片如ASIC信號(hào)調(diào)理電路芯片,自行或委托代工廠完成傳感器的封裝和測(cè)試,再將傳感器成品銷售給下游終端客戶。

未來(lái),受國(guó)外技術(shù)進(jìn)口、國(guó)內(nèi)市場(chǎng)倒逼以及下游封裝市場(chǎng)等因素的影響,中國(guó)本土企業(yè)自主化能力提高,大部分中國(guó)MEMS企業(yè)將向Fabless模式演變,MEMS研發(fā)中試線平臺(tái)將能有力幫助這些企業(yè)提高自主設(shè)計(jì)能力。

隨著本土傳感器企業(yè)成為具備芯片設(shè)計(jì)能力的Fabless公司,中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)整體水平將能得到巨大提升,也能倒逼國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)線擴(kuò)張,去除被國(guó)外公司芯片卡脖子的隱憂。

因?yàn)?/span>MEMS傳感器的瓶頸不在于先進(jìn)的晶圓制造設(shè)備,而在生產(chǎn)工藝、技術(shù)的調(diào)校上,MEMS中試線將能加快企業(yè)芯片設(shè)計(jì)和工藝研發(fā)進(jìn)展。

2、極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本

MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)與其他高新科技產(chǎn)業(yè)一樣,是一個(gè)技術(shù)、人才、資金密集的產(chǎn)業(yè)。

如下圖所示,智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈非常長(zhǎng),涉及數(shù)十個(gè)環(huán)節(jié),產(chǎn)業(yè)鏈的每個(gè)環(huán)節(jié)投入都較大,單一企業(yè)很難獨(dú)自承受產(chǎn)業(yè)鏈所有環(huán)節(jié)所需要的技術(shù)知識(shí)、人力成本及設(shè)備投入,且只有每個(gè)環(huán)節(jié)的產(chǎn)量足夠大,才能覆蓋其綜合成本,因而,智能傳感產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)出專業(yè)化、規(guī)?;椭悄芑奶攸c(diǎn),即每個(gè)環(huán)節(jié)都可成為一家獨(dú)立的公司參與到產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)發(fā)展,而生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)是所有環(huán)節(jié)中投入最大的部分。

來(lái)源:深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書

據(jù)中原智能傳感研究院執(zhí)行院長(zhǎng)李揚(yáng)介紹:

MEMS中試線和量產(chǎn)代工線投資為例,一條8吋的MEMS中試線,以月產(chǎn)能3000-5000片為例,總投資在10億以上。包括廠房建設(shè)、超凈間建設(shè)、危廢處理等附屬設(shè)施、設(shè)備等,其中設(shè)備的投資占50%。每年的運(yùn)維費(fèi)用,超凈間維護(hù)費(fèi)用在4000萬(wàn)左右,其中電費(fèi)占50%,因半導(dǎo)體設(shè)備的高精度和高可靠性要求,需長(zhǎng)時(shí)間保持運(yùn)轉(zhuǎn)或待機(jī)狀態(tài)。以賽微電子亦莊8吋線為例,規(guī)劃月產(chǎn)能3萬(wàn)片,一期建設(shè)產(chǎn)能1萬(wàn)片/月,建設(shè)投資25.9億,且后續(xù)還需要持續(xù)的投入研發(fā)。行業(yè)的資金投入程度可見(jiàn)一斑。

同時(shí),MEMS傳感器芯片與一般芯片不一樣的是,其工藝制造和調(diào)校更復(fù)雜,需要更多的與MEMS產(chǎn)線精密結(jié)合的工作,其研發(fā)流片過(guò)程更長(zhǎng)、更久,一般企業(yè)無(wú)法承受如此昂貴的研發(fā)成本。

通過(guò)建設(shè)MEMS研發(fā)中試平臺(tái),打造共享研發(fā)中心,為傳感器企業(yè)提供傳感器芯片流片服務(wù)、封裝服務(wù)和測(cè)試服務(wù),將能極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本,提高企業(yè)市場(chǎng)存活力和競(jìng)爭(zhēng)力。

從上文我們看到,粵港澳大灣區(qū)打造智能傳感器產(chǎn)業(yè),要建MEMS產(chǎn)線/中試線;鄭州傳感谷、蚌埠傳感谷,同樣要建MEMS中試線;老牌智能傳感器產(chǎn)業(yè)園,幾乎都有MEMS產(chǎn)線/中試線作為底子。

可見(jiàn),打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園,建設(shè)MEMS中試線已成為公示。為什么要建MEMS產(chǎn)線/中試線?因?yàn)檫@是地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心、主心骨。

這里有兩個(gè)例子:

蘇州納米城提前布局,自2014MEMSRIGHT的中試線貫通后,借助蘇州納米所的研發(fā)基礎(chǔ),圍繞MEMSRIGHT中試線,構(gòu)造了納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈,經(jīng)過(guò)8年多的發(fā)展,截至20219月累計(jì)建成載體近50萬(wàn)平方米,集聚各級(jí)領(lǐng)軍人才超250人,入駐企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)超400家,其中科創(chuàng)板上市企業(yè)2家(其中不乏敏芯微這樣的獨(dú)角獸企業(yè)),國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)近90家,中科院蘭化所蘇州研究院等中科院下屬機(jī)構(gòu)5家,蘇州劍橋等4個(gè)國(guó)外納米創(chuàng)新中心,已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)發(fā)展最好的傳感產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

相反的是,常州2015年就提出打造中國(guó)國(guó)際傳感谷,建設(shè)傳感小鎮(zhèn),但由于常州并沒(méi)有建設(shè)支撐MEMS傳感器發(fā)展的核心研發(fā)中試平臺(tái),而成為一個(gè)普通的招商產(chǎn)業(yè)園,現(xiàn)在已經(jīng)鮮為人知了。

一個(gè)地區(qū)的傳感器產(chǎn)業(yè),沒(méi)有建設(shè)好MEMS研發(fā)中試平臺(tái),就很難發(fā)展核心技術(shù),開(kāi)發(fā)特色工藝,不斷孵化創(chuàng)新性企業(yè),吸引產(chǎn)業(yè)上下游聚集,形成產(chǎn)業(yè)鏈。

結(jié)語(yǔ):中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)升級(jí),還看今朝!

中國(guó)第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線投產(chǎn),對(duì)中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè),尤其是粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,具有重要意義。

未來(lái),隨著多條MEMS中試線/產(chǎn)線的投產(chǎn),中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)如何利用這些優(yōu)質(zhì)產(chǎn)線資源,培養(yǎng)更多傳感器創(chuàng)新企業(yè),形成一定規(guī)模的傳感器設(shè)計(jì)、生產(chǎn)集群,將是決定中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)升級(jí)成功與否的關(guān)鍵!

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