中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心內(nèi)的兩款國儀量子掃描電鏡
近日,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國儀量子自主研制的首臺(tái)超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前,該設(shè)備已完成前期調(diào)試,即將投入試運(yùn)行。
PART.1 技術(shù)指標(biāo)
超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X
SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(Super Tunnel)以及鏡筒工藝升級(jí),實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉,擴(kuò)展接口增加至16個(gè),快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng),帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
儀器特點(diǎn)
·超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
·樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
·高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
·最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
PART.2 應(yīng)用案例